显影状态的维持
A、有无过滤器,保证显影液的干净;
B。有无自动保胶及保护胶的自动清洗系统;
C、有无防氧化盖(金属盖散热快,塑料盖散热慢)
测试步骤
设置曝光程序,生成测试图形阵列。要求每一列对应不同DOSE,每一行对应不同FOCUS.曝光生产测试版,并进行显影、蚀刻和去胶处理。测量测试版上阵列中每个点的CD.分析测量数据。
化学显影法
化学显影法是利用乳剂层中卤化银晶体内的银离子,在显影时被显影剂还原而使潜影不断扩大的显影方法。即形成银影的银离子是靠乳剂层中的卤化银晶体本身提供的。按标准要求经过显影、定影等处理后,即可得到一张光楔片(或称梯尺)。化学显影法是常见和使用多的一种显影方法。目前制版系列的常规冲洗,均属化学显影的范畴。当我们在电子显微镜下观察显影过程时,会看到已曝光的卤化银一旦与显影剂接触,显影中心的金属银以细丝状逐渐增长。当细丝长到一定长度时,便向横向增长,致使整个颗粒都被还原子成金属银。由此可见,化学显影生成的银为丝团状,可提供较高的感光度。
显影配方中亚硫酸钠用量的一般原则
1)容易氧化的显影剂比不易氧化的显影剂用量要多。
2)用强碱作促进剂的配方中,亚硫酸钠的用量要多些。这是由于显影剂在碱性较强的溶液中,氧化速度比较快l。
3)显影液浓度低时用量多。这是因为显影剂在稀溶液中电离度增大,易氧化。
4)微粒显影液中的亚硫酸钠的用量较多。
5)高温快速冲洗的显影液中,由于防氧化的要求较高,一般用量多。
对于已经曝光而产生潜影的卤化银,则由于有潜影的地方对Br-的吸附能力是比较弱的,
因此,显影剂的负离子就可依靠离子本身的动能,克服离子的排斥力,使其能够越过这一缺口与潜影接触,完成显影反应。由此可见,越是曝光少的地方受到抑制的程度就越大。
根据显影的化学反应:
Ag+ 显剂Ag+显影氧t (1)在这一反应中,银离子及显影剂离子越多,还原进行得越快。银离子可以从卤化银电离而来:AgBrAg++Br (2溶液中加入的化钾,也发生电离,产生钾离子和离子,这样就使溶液中离子增多。离子增多,就减少了化银的电离度