准分子气体的保存：严禁将其与可燃气体与助燃气体堆放在一起，也不要沾油腊、爆晒、以及重抛和撞击，气瓶的瓶身上也不能进行引弧或电弧，装卸时要动作轻缓。准分子气体的运输车周围发生火灾时，应将车辆迅速转移到安全地点。将气体种类通知消防队，请求援助。准分子气体的运输紧急措施：气体泄漏时。1. 附近要禁止动火。2. 气体着火时，要根据情况灭火。3. 有毒气体泄漏时，要做漏出气体的除害处理。
准分子气体的运输紧急措施：气体泄漏时。 灭火困难或制止不住有毒气体泄漏时，要通知消防队，地区防灾事业所、工厂，销售店。准分子气体的运输紧急措施：有气体泄漏时，要确定泄漏处并制止泄漏。处理有毒气体时，一定要戴面罩、手套等防护用具。准分子气体的运输：(1)不要超过车辆的装载量。 ·(2)充填压缩气体的容器等，原则上要横装。
准分子气体的保存：严禁将其与可燃气体与助燃气体堆放在一起，也不要沾油腊、爆晒、以及重抛和撞击，气瓶的瓶身上也不能进行引弧或电弧，装卸时要动作轻缓。准分子气体进样时需注意不泄露。大家都知道气体具有逃逸性，所以，准分子气体在进样的时候一定要注意先检查好容器和管线的气密性，确保进样的全程都不会发生泄露，以免降低气体的浓度而对样品数据的准确性造成不良影响。准分子气体进样时需要注意：管材的合理选择。准分子气体在进样的时候需要使用管线，但是每种其他的性质特点不同，所以要注意根据根据不同的气体性质来选择管线的材质。
准分子激光推进了刻蚀、材料研究、汽车制造、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。准分子激光气体体是用于准分子激光设备中的激光发生器的关键气体。准分子激光气注意事项：准分子激光气体为高压充装气体，使用时应经减压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积，物理气相沉积，磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁等方面,微机电系统相关的微制造技术．