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流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。［这时您可能会问：ALICAT还有液体流量计、液体流量控制器吗。

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什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。质量流量控制器原理质量流量控制器是利用热传导原理测量流体流量的仪表,质量流量控制器采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。

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流量控制器如何测混合气体的流量？

质量流量计是采用感热式测量百，通过分体分子带走热量多少从而来测量流量，因为是用感度热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。

即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流专量。

此方法，日系发动机常用。

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