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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵售后维修

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分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?

答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是方式?

答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

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分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态不良时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。

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润滑油的“三级过滤”是指:合格油品进润滑站固定油罐(桶)时要进行一级过滤;润滑站固定油罐(桶)的油进加油工具时要进行二级过滤;加油工具里的油进入设备润滑点时要进行三级过滤。

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分子泵必须在分子流状态下工作,在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距,而气体分子的平均自由程长度会随着容器压力下降而增加,因此分子泵如果直接抽取大气,反而无法显示出它的优越性。

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分子泵的清洗非常重要,如果前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空度,在排除漏气的情况下,说明分子泵内部脏化了,就需要进行清洗。分子泵的清洗分为直接进行清洗和拆卸清洗,前者适用于内部不太脏,后者用于内部严重脏化

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