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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的-种真空泵凹。其应用领域包括分析、半导体工业、光学、玻璃工业、涂层技术、真空冶炼、检漏技术、科研设备、照明用具行业等。

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涡轮分子泵有超高真空低能耗，气体输送能力强，循环时间短使用时间长的优点。在电子、半导体工业，包装、印刷、食品工业、塑料及橡胶工业、制药工业、医院及实验室装置、物流技术、环保工程、汽车工程、木工机械等有着广泛的应用。

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Shimadzu TURBO Pump Controllers 日本岛津分子泵电源：

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涡轮分子泵的优点：

启动快

耐各种射线的照射

耐大气冲击

无储气和解吸作用

无油蒸气污染或污染极shao

可获得洁净的超高真空

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