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由于涡轮分子泵是高速旋转的机械，因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。涡轮分子泵的轴承有如下几种：

1、油润滑轴承

2、油脂润滑轴承

3、气膜轴承

4、磁悬浮轴承

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Shimadzu岛津EI-D2003M磁悬浮分子泵驱动器可以控制的分子泵有Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等

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真空泵是在电磁力的作用下对被抽容器进行抽气从而维持真空的装置。真空泵平常广泛的应用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修，请务必确认维修厂家有无如下设备及备件： 氦质谱检漏仪：是用来测试分子泵有无渗漏的，五轴磁悬浮分子泵维修后，因真空密封及接口较多，很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差，又直接导致镀膜质量差。