具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工质量,如板材与板材之间应均匀涂密封胶,达到严密不漏风。
洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装的插座、开关、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封,且器械柜中的各种管道和箱体之间也都必须采用可靠和有效的密封措施。布置工艺的流程尽可能短,减少交叉往复,、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室,除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等,每间用室相互,净化工程的面积应在保证基本要求前提下,与生产规模相适应。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,要根据实际情况选择。
净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着方向发展,对净化车间的依赖度也越来越高。而随着净化技术的发展,建设净化车间的技术含量也越来越高,非人士不能也。除了在生产领域,净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合,为人们提供更洁净的生活空间。洁净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质,有效地控制微量杂质,以保证高科技产品的成品率。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面,每一方面的标准达到了,车间净化工程才算是成功的。
洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装的插座、开关、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封,且器械柜中的各种管道和箱体之间也都必须采用可靠和有效的密封措施。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。
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