净化工程的维护
1、净化空调系统应连续运行,且定期进行清洁维持工作。
2、洁净室必须维持于正压状态,且保证净化工程洁净区应与非洁净区高于10pa。
3、洁净区内的温湿度应做好控制与维持工作,必须根据企业的实际生产需要来设置,一般情况下温度为22——25摄氏度,湿度为40%——60%。
4、净化工程公司设置的流洁净室的缓冲区域应设有明显的标识,各洁净区的门必须保证关闭状态,且进出门不可同时打开。
净化工程中常用的净化设备
风淋传递窗:
1、风淋传递窗根据结构不可分为:风淋传递窗和落地式风淋传递窗;
2、风淋传递窗根据箱体材质不同可分为:不锈钢风淋传递窗、外钢板内不锈钢风淋传递窗等,(传递窗内胆均为砂面不锈钢);
3、传递窗根据互锁方式不同可分为:电子互锁风淋传递窗及机械互锁风淋传递窗。
FFU 风机过滤单元: FFU英文全称(Fan Filter Unit)具有可模块化连接使用的特点。
净化工程的di一步的关键是设计,工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工,还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。净化工程的等级划分比较的严格,一般按照7个等级进行的划分,分别是1级,10级,100级,1000级,10000级,100000,1000000级,净化安全要求是根据等级来实施的,净化工程等级数越小,级别是越高的,其含尘量越少,排名是靠前的。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。(2)在建造净化车间之前,应根据洁净室的主要施工程序制定详细的施工合作计划,并严格按照施工程序进行施工。随着产品向着高、1精、1尖方向发展,对净化车间的依赖度也越来越高。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产zui佳温度范围为35—45%。现在我们国家的经济科技在发展,同时带动了社会各行各业在告诉发展中。对β-内酰胺类、避孕药品、类、强毒微生物及抗肿1瘤药品、放1射品等的工作室,应设置空调净化系统,其排风口应安装过滤设备,以将这些的污染降至*低限度。以净化工程这个行业为例,在目前呈现一片喜人的发展态势。
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