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pfeiffer QME220+Agilent分子泵给组+ IDP涡旋泵：实验室气相分析

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Pfeiffer TMH071涡轮分子泵是德国Pfeiffer Vacuum公司设计制造的一款分子泵，Pfeiffer TMH071的转速为90000rpm, 其对应的频率为1500Hz，标准的Pfeiffer TMH071涡轮分子泵对应的极限真空为1.0*10-7mbar,使用不锈钢外壳及CF口径的Pfiffer TMH260极限真空可以达到5.0*10-10mbar。

Pfeiffer TMH071普发分子泵维修图：

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涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。