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罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有极高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有超*的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。阿尔卡特真空泵维护

分子增压泵可以在100-50Pa工作，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。阿尔卡特真空泵维护

对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。阿尔卡特真空泵维护

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵联系电话 真空泵维修维护

真空泵在使用过程中，zui常出现的问题有：1、真空不足----旋片损坏，缸体磨损，转子与缸体切点间隙变异，更换旋片，修复缸体，调整相应间隙2、流量不足----管道不通畅，泵浦沉积油垢，杂物，电压降低清理输送管道，清洁泵浦，调整电压3、功率过大----超过额定流量使用，吸程过高，泵轴承磨损，调节流量关小出口阀门，降低吸程，更换轴承。真空泵维修维护

真空泵高温解决方案

电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。真空泵维修维护

(1)将原真空泵风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却。真空泵维修维护

(2)定期清除真空泵电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力。

(3)将真空泵所在母线电压调整为400V。

真空泵可单独使用，也可用为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵用。可用于电真空容器制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备维修及仪器仪表设备配套和实验室等。

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵联系电话 真空泵机组维修

真空泵的缸体与缸体之间是有缝隙的，密封套件就是用着这之间的位置，真空泵密封套件的好坏直接取决于真空泵的使用性能，比如密封不够，就会引起真空度不达标等异常故障。真空泵机组维修

分子泵内部结构的设计和制造分为三个层次首先是分子泵的内部结构，即分子泵的外形。其次是分子泵的外形，包括两种前面板和后面板。前面板采用钢制材料,后边板则采用铝制材料。在前边板上加装了一个小型吸尘器，吸收灰尘。后边板上安装了一台大功率电机。前边板上安装了一台大功率电机，吸收灰尘。后面板上的吸尘器安装在一起。这样可以保证分子泵的正常运行。真空泵机组维修

分子泵内部结构采用三层前面板和后面板。前面板为铝制材料，后边是铝制材料。这样可以使得分子泵在工作时具有良好的吸附能力。前两个层次为灰尘和粉末。真空泵机组维修

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵联系电话 磁悬浮涡轮分子泵维修

含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备，在集成电路刻蚀等工艺过程中，部分工艺气体容易冷却凝结，附着在分子泵转子及内壁，造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞，影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度，降低工艺气体凝结，提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修

我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击，它会从电子层脱出。结 果，带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修

分子泵的工作区间是有限制的，*大启动压强也要在100pa，直接大气启动只会长期处于过载状态运行，并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修

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