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气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法？

气体管道工程在实施时难免发生大大小小的事情，如果不加以解决会影响整个工程的进展，甚至造成更大的损失，那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗，当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?

产生此类故障的原因有三种：

第i一，是流量计后气路有泄漏;

第二，是气路气阻太小;

第三，是流量控制阀件损坏。

实验室气体管道工程

其检查方法如下：

首先堵住检测器的气路出口，观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零，需要考虑对漏气处进行检查，具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。

气体管道工程

此时应观察一下流量调节阀转动时，流量是否 有较大的变动，若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题，按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。（11）气瓶须定期检验，不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶，液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。（6）瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全，无漏气、滑丝、表针松动等危险情况，各类气压表一般不得混用。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。联接时，一般要在螺纹联接部分缠上氟塑料密封带，或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料，以防止泄漏。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

气体管道工程的保养主要有哪些？

其实主要的是接口与阀门，接口与阀门经过气的侵蚀在一定时间后会出现小故障，会容易出现漏气的现象。每日要检查气压表，如果出现漏气的话气压表就会不稳定或不在原来的地方等。

气体管道属于机电机械类物体其主要是为了输送气体，气体又分普通气体、高纯气体、特种气体。生活当中接解的多的就是天i然气，煤气，气体运用不好的话就会给我们带来灾难。（2）按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。日常的保养非常重要，要做到及时检查气体管道的重要部位，通过重要部位来分析哪些地方管道出现问题。出现问题的地方要及时修复，避免损坏越来越大造成严重后果。